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真空鍍膜設備常用真空計介紹
發布時間:2014-12-16 瀏覽:2911 次

  電阻真空計(又叫皮喇尼真空計):

  它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統相連接,熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。

  當壓強降低的時候,由于氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強,有以下關系:

  略 這就是電阻真空計的工作原理,此真空計的測量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號是WP-02

  磁控放電真空計:

  工作原理:在放電開始時,由于空間游離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然后受到對面陰極的拒斥,又復返回。

  這樣反復多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。

  目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY

  放電管真空計:在玻璃管中封入兩個金屬電極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓強范圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度

  目前為止這種真空計已經很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長。

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