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真空鍍膜機維護知識
發布時間:2014-12-19 瀏覽:3430 次

  第一章 電子槍

  1電子槍槍頭罩

  電子槍頭罩

  須每日清潔一次清潔的目的是清除膜料的殘留物及其他異物資進入槍頭內部而容易導致產生電壓上升,掃描偏移和加快電阻絲的氧化反應以及蒸發膜料時產生氣體而產生靜電現象。

  11清潔方法

  1分解槍頭罩后進行噴沙方式清潔

  2噴沙必須只操作槍頭罩的外部

  3槍頭罩的內里面絕對不可以噴沙

  如果對內部經常性噴沙處理會導致固定螺絲的磨損使得組裝時不再扣緊,如長時間噴沙處理嚴重影響或損壞螺紋結構導致組裝后出現槍頭的中心與電阻絲的中心部位不吻合。

  此因素會導致以下問題

 ?、匐娮邮鴴呙杵苹蜃兓?/p>

 ?、陔娮邮W動現象

 ?、坼兡l件變化

 ?、茈娮悠骷墓收系?。

  12 槍頭分解事項

  內容電子槍頭在更換電阻絲時進行清潔。

  1電阻絲更換周期如下

  例A品電阻絲更換使用時Zro2蒸發時所顯示的電流值為 240A左右 IC/5

  中 Zro2的速率設定為6.5 Rate時電阻絲使用較長 Zro2的電流值會上

  升到 270~280左右。

  電阻絲上有異物資或電阻絲已發生氧化都會產生電流上升現象這時可對電阻絲氧化反應現狀進行直觀確認。

  2槍頭清潔方式

 ?、?/p>

  對槍頭建議不采用噴沙方式進行清潔。 如確切需要采用噴沙方式清潔可在不分解槍頭的狀態下進行,之后將槍頭分解對表面的殘留物資進行清潔后組裝即可。

 ?、?/p>

  進行噴沙清潔時盡可能對槍頭固定部分和螺紋部分避免噴沙對固定部分用細砂紙輕微擦拭。

  固定電阻絲部分如果噴沙會有損傷導致緊固電阻絲時不緊密和偏形等結果以上因素會導致以下問題

  (.)光斑形狀不規則

  (.)光斑定位偏移 (.)會成為數據條件變化的因素。

  13 電子槍掃描架

  1電子槍角鐵在清潔中必須慎重管理。

  電子槍角鐵合金材料物性雖然是強性但通過延續使用過程中因電子槍的高熱而會轉變為軟性所以如遇較強沖擊會導致變形特別注意在噴沙過程中不可仍拋物現象清潔過程中一定要注意。

  2如果上述因素而導致角鐵變形

  延續產生以下問題光斑不穩/光斑大小調整異常/ 掃描等不穩定狀態。

  3有時電子槍的角鐵與基臺之間沒有固定部分前提下組裝

  再加上操作者不注意將導致每次的光斑位置不同延伸可導致光斑不移動狀態。

  角鐵上部的組裝要比下部更重要

  14 電子槍部件

  組成部件

  1 坩堝盤

  2電子槍 角鐵

  3掃描線圈接點

  4磁力 線圈

  5) 冷卻水入口

  6坩堝盤旋轉軸

  7高壓端子

  8坩堝盤旋轉感應器

  9旋轉電機

  10掃描線圈

  第2章 離子源

  21 離子源

  目前我們使用兩種模式的離子源。

  1

  霍爾源模式

  一般在樹脂光學領域使用霍爾源的比率較多霍爾源的輸射角度寬設定均勻性的操作上表現非常優越但電源電流上升限制在220V所以針對金屬材質等產品的使用時比較弱而無明顯效果。

  2

  考夫曼模式簡單說明可以理解霍爾離子源主要為輻射角度寬電源壓低相對比考夫曼模式輻射角度小電源壓高調整作業條件時比起霍爾源難度較高但電流電源可上升到800V,對金屬材質的產品等使用適當。

  3

  各部件

 ?、匐娫淳€固定點

 ?、陔娮杞z固定點

 ?、蹥怏w分配器 . ④冷卻水盤

 ?、荽趴亓⒅?/p>

 ?、蘩鋮s水盤固定柱

  22 氣體分配器

  離子源氣體分配器

  1方法約使用 15日左右后更換刻蝕輔助功能同時使用時

  2清潔周期清潔周期為 12小時一次

  3問題如果氣體分配器不潔凈會影響 離子反應導致影響產品表面膜層的牢固度。

  離子反應不到位電弧加深可對產品造成很嚴重的影響 如產生較多異物質中合電流值會上升

  中合電流值顯示上升說明氣體分配器的狀態不好 中合電流值應保持在 1以下最好。

  4離子源燈絲

  基本上電阻絲正常使用 2~3天更換電阻絲時應如下參考值

  陽極電源-80陰極電流-29.5, 放射電流-4.8,

  陽極電流-4.8 中合電流 00.0

  根據電阻絲的種類區別多少會有差距

  ★陰極電流值約 (21)~(20)狀態時需要更換電阻絲。

  5氣體分配器

 ?、?氣體分配器的使用壽命月 50小時

 ?、谝匝坨R鍍膜為準可使用 16日~17日后給于更換

 ?、郦獨鍤?2分30秒氧氣 1分10秒清掃后預熱時間等等。

 ?、?離子源清掃每日進行一次。

  第 3章 泵

  31 增壓泵

  1方法確認 oil量。

  2周期每周一次

  3效果如發現泵油急劇減少現象出現將說明問題存在需要檢驗通過視窗發現泵油里積水或有明顯氣泡需將油全部更換。停止運轉并對電路等進行檢修或從新安裝操作時必須對泵的旋轉方向進行確認無誤后方可啟動運轉請參考旋轉標示。

  32 機械泵

  1方法確認油量

  2周期每天一次

  3效果

  必須保障油量滿足在上下基準顯示值范圍內

  每3個月將油全部排除并作過 濾處理之后回填將不足油量補充油量補

  充到油標視窗的 2/3 的高度 使用 6個月后最好將 油全部更換油過濾器--- 如有 微小的移動空隙

  就應給于清潔 或更換。

  33 擴散泵

  擴散泵各部件

  1F/V汽缸結合部

  2 M/V結合部位

  3 擴散泵油注入口

  4 擴散泵油排出口

  5 擴散泵加熱器安裝位置

  D/P 泵

  擴散泵管理方法

  1對擴散泵每年進行一次全面檢查( 通過定期維護管理延長和維持設備性

  能)

  2擴散泵規格為 22英寸時兩組擴散泵各注入擴散泵油 4.5升

  3擴散泵規格為 24英寸時兩組擴散泵各注入擴散泵油 5.5升

  4鍍膜參數變化及沉積異常/真空異常等可以現象時需要將確認擴散泵油量

  ※為了確認擴散泵首先將設備關閉再等到擴散泵完全冷卻以后方可允許氣體

  注入

  如果在正常操作狀態下擴散泵中有空氣進入將導致擴散泵油與空氣結合發生爆炸所以特別實施注意

  擴散泵問題確認

  1確認油量是否保持定量 . 如果發現油量不足必須補充到規定油量。

  2確認擴散泵油的顏色是否透明 .如發現油的顏色變為深色黑應給于更換。

  3確認擴散泵油里是否摻雜異物質 .如發現異物質沒有發現顏色變化時僅將異物質給于過濾后再使用即可。

  ( 如以上問題狀況需要制定時間表來周期性操作設備檢查維護)

  第 4章 冰水機冷卻機

  1方法每天一次確認水箱水位

  2周期每個月更換一次水

  3效果首先將水箱內的水排出更換水進行循環后再次給于更換。

  如水質因素導致水管生銹堵塞影響水的循環和壓力會導致擴散泵溫度上升甚至會有返油的現象 再者如影響到電子槍掃描線圈導致光斑不穩定而變化或不移動加上低壓保護裝置而需要隨時確認冷卻水循環壓力在 3K~3.5K為最佳狀態低于2K 會導致問題發生。

  第 5章 鍍膜機氣壓調節裝置

  此裝置的壓力顯示低時M/V的蓋子及各氣閥的設定壓力值不足而導致返油現象發生。

  ※ 目前設備的壓力值應保持在 5.5kg。

  第6章 真空室

  內部組成說明

  1高真空探頭

  2低真空探頭

  3電子槍

  4離子源

  5真空室冷凍機管路

  6加熱燈管

  頂部組成說明

  1M/V閥氣缸

  2R/V閥汽缸

  3L/V閥氣缸

  4L/V閥消音器

  第 7章 真空確認方法

  相關真空的問題發生時主要的確認方法過程是通過真空計顯示畫面的數值

  確認和診斷方法

  1.如操作時間比往常出現延長狀態時主要確認真空方向

  2.將作業時間與正常狀態時間作比較

  3.確認真空計顯示的數值是否有反彈現象

  4.確認各氣缸動作時的真空狀態是否有泄漏現象

  5.確認真空計顯示真空度是否按照一定規律順序變動還是上下有偏差的狀態

  變動

  對可疑的部位進行丙酮噴灑并及時確認真空計顯示上的變化來確認是否有真空泄漏現象

  6.M/V主閥氣缸作為多發生問題部位主閥軸的密封圈與主軸之間的摩擦而導致磨損現象是漏真空的主要原因

  7.與真空相關聯的部位結構都有密封圈所以在處理問題時更換密封圈時直接解

  決方式

  8.與上述第4項內容電子槍與離子源的密封圈也可能作為問題因素導致泄露或冷卻水微漏現象

  9.電子槍旋轉裝置的齒輪軸會有泄漏現象有可能發生主要因素是軸承和軸封的老化所致更換即可

  10.相對平常作業時間延長2~3分鐘左右可以看作為操作管理的不足而產生的

  結果 例如)

  -- 將真空室門開啟的時間過長

  -- 設備內部的濕氣導致的現象

  -- 加熱燈管的污染嚴重時

  -- 設備內部的污染嚴重時

 

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